金融界2024年11月19日消息,国家知识产权局信息显示,苏州苏纳光电有限公司取得一项名为“晶圆中转装置”的专利,授权公告号CN 222015378 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆中转装置。晶圆中转装置包括:定边单元,包括支撑机构、第一驱动机构和检测机构,支撑机构用于承载晶圆,第一驱动机构与支撑机构传动连接,并至少用于驱使支撑机构绕自身中轴线转动,检测机构至少用于检测、定位晶圆的定位直边;对中单米乐M6 米乐平台元,包括导轨、第二驱动机构和至少两个对中机构,至少两个对中机构间隔设置在支撑机构的外周区域,至少两个对中机构活动设置在导轨上,第二驱动机构与对中机构传动连接,并至少用于驱使对中机构沿导轨活动。本实用新型提供的一种晶圆中转装置可快速实现对晶圆的对中及定边操作,对中及定边可在数秒内完成,从而减少了操作时间、提高了作业效率。